透射電鏡液體光學原位系統采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實驗室，通過樣品臺內置的光纖將光作為外場條件搭載其上，通過MEMS芯片和光纖引入的光源對樣品施加光場刺激條件，在 進 行 光 學 性 質 測 量 的 同 時，結 合 使 用 E D S、E E LS、S A E D、HRTEM、STEM等多種不同模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在液氛環境中隨光場變化產生的微觀結構演化、反應動力學、相變、元素價態、化學變化、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

我們的優勢

業界最高分辨率

1．MEMS加工工藝，芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10 nm。

2．芯片封裝采用鍵合內封以及環氧樹脂外封雙保險方式，使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm，超薄夾層大幅減少對電子束的干擾，可清晰觀察樣品的原子排列情況，液相環境可實現原子級分辨。

3．經過特殊設計的芯片視窗形狀，可避免氮化硅膜鼓起導致液層增厚而影響分辨率。

高安全性

1．市面常見的其他品牌液體樣品桿，由于受自身液體池芯片設計方案制約，只能通過液體泵產生的巨大壓力推動大流量液體流經樣品臺及芯片外圍區域，有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴散效應進入芯片中間的納米孔道，芯片觀察窗里并無真實流量流速控制。

2．采用納流控zhuanli技術，通過壓電微控系統進行流體微分控制，實現納升級微量流體輸送，原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別，有效保證電鏡安全。

3．采用高分子膜面接觸密封技術，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風險。

4．采用超高溫鍍膜技術，芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優點。

多場耦合技術

可在液相環境中實現光、電、熱、流體多場耦合

優異的光學性能

1．一體式激光光源，集成紫外-可見-紅外不同波段并輸出特定波長激光，光信號強（最大強度不低于150mW/cm2），可快速連續調節光源強度，響應時間短（毫秒級）。

2．特殊結構設計，超低光損耗，能量穩定均勻。

智能化軟件和自動化設備

1．人機分離，軟件遠程控制實驗條件，全程自動記錄實驗細節數據，便于總結與回顧。

2.全流程配備精密自動化設備，協助人工操作，提高實驗效率。

團隊優勢

1．團隊帶頭人在原位液相TEM發展初期即參與研發并完善該方法。

2．獨立設計原位芯片，掌握芯片核心工藝，擁有多項芯片zhuanli。

3．團隊20余人從事原位液相TEM研究，可提供多個研究方向的原位實驗技術支持。

技術參數

應用案例