掃描電鏡高溫原位系統-基礎版

簡要描述：掃描電鏡加熱原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統，結合EDS、EBSD等多種測試模式，實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

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我們的優勢

高分辨率和可靠性

1．MEMS微加工工藝，加熱芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm，可達到掃描電鏡極限分辨率。

優異的熱學性能

1．高精密紅外測溫校正，微米級高分辨熱場測量及校準，確保溫度的準確性。

2．超高頻控溫方式，排除導線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學參數更精確。

3．采用高穩定性貴金屬加熱絲（非陶瓷材料），既是熱導材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關系，加熱區覆蓋整個觀測區域，升溫降溫速度快，熱場穩定且均勻，穩定狀態下溫度波動±1℃。

4．采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±1 ℃。

5．多級復合加熱MEMS芯片設計，控制加熱過程熱擴散，極大抑制升溫過程的熱漂移，確保實驗的高效觀察。

6．加熱絲外部由氮化硅包覆，不與樣品發生反應，確保實驗的準確性。

Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC

SEM images

圖片13.png 圖片14.png

ZIF-67 after heated

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